真空箱式氦检漏系统操作规程

1、检测提供给系统的压缩空气（压力大于0.6MPa的洁净压缩空气）。

2、检测吹氮装置的氮气供应压力在0.2MPa之间。

3、确保总电源打开。

4、确保所有紧急停止按钮处于释放状态。

5、检查输入氦气瓶的压力为0.1MPa。

6、检查高压氦气罐出口手动阀处于打开状态。

7、检查排气管路的出口通畅。

8、检查PLC通信接口没有与其它任何通信电缆连接。

9、检查PLC主机的运行状态是否存在运行状态